Metal Assisted Chemical etching (MACE) is een recent ontwikkelde anisotrope natte etsmethode die in staat is om halfgeleidernanostructuren met een hoge beeldverhouding te produceren uit metaalfolie met patronen.
In een goed geaccepteerd model dat het MACE-proces beschrijft,oxidantheeft de voorkeur om te worden verminderd aan de oppervlakte vanmetalen katalysator, en gaten (h+) worden geïnjecteerd van metaalkatalysator naar Si of elektronen (e−) worden overgebracht van Si naar metaalkatalysator. Si onder metalen katalysator heeft de maximalegatconcentratie, daarom is deoxidatieen de ontbinding van Si komt bij voorkeur onder metaalkatalysator voor.
De efficiëntie van de omzetting van zonne-energie blijkt te worden verhoogd wanneer SiNWs methoge beeldverhoudingworden gebruikt in het oppervlak van slar lichtstraling.
1 Oppervlakteconditie
parameter | proces | Reflectie |
Voorzijde | ||
Oppervlakteconditie | metaal Geassisteerde Chemische Ets | laag |
Achterkant | ||
Oppervlakteconditie | Gepolijst of getextureerd | Hoog of laag |
2 Materiaaleigenschappen
eigenschap | specificatie | Inspectiemethode |
Groeimethode | directionele stolling | XRD |
Kristalliniteit | polykristallijn | Preferentiële etstechnieken(ASTM F47-88) |
Geleidbaarheidstype | P-type | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | boor | - |
Zuurstofconcentratie[Oi] | ≦1E+17 bij/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Koolstofconcentratie[Cs] | ≦1E+18 bij/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Elektrische eigenschappen
eigenschap | specificatie | Inspectiemethode |
Weerstand | 0.5-2 Ωcm (Na gloeien) | Wafer inspectiesysteem |
MCLT (levensduur minderheidsdrager) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 meetkunde
eigenschap | specificatie | Inspectiemethode |
meetkunde | Vierkant of Rechthoek | Wafer inspectiesysteem |
Vorm van schuine rand | lijn | Wafer inspectiesysteem |
Wafer grootte (Zijlengte*zijlengte) | 156mm* 156mm 157mm* 186mm 166mm* 166mm | Wafer inspectiesysteem |
Hoek tussen aangrenzende zijden | 90±3° | Wafer inspectiesysteem |
Populaire tags: zwarte silicium oppervlak p type polykristallijne zonnewafel met inbegrip van 166mm * 166mm, China, leveranciers, fabrikanten, fabriek, gemaakt in China